FD101力传感器芯片

FD101是一款压阻式力传感器芯片，采用单晶硅材料制造，专为各类通用力测量场景以及微小力测量应用开发。

FD101芯片上有4个压阻电阻，每个电阻相互垂直排布，因此该芯片可实现所有方向上力的测量。举例说明：把单个芯片粘贴在弯曲梁上，可以组成半桥测量电路。如果把2个芯片分别粘贴在弯曲梁的上、下表面，则构成全桥测量电路。把该芯片粘贴在拉伸或压梁上，有可以组成全桥测量电路。此外，把芯片粘贴在剪切梁或扭力梁上，也可以组成全桥电路，用于测量剪切力或扭矩。

FD101内部惠斯通电桥采用开桥电路结构，引出 5 个焊盘，五焊盘结构便于用户进行零点偏移调整与温度补偿。该芯片标准的电气接口是裸焊盘，可根据用户需求带金丝引线。芯片不含信号调理电路，输出信号来自于惠斯通电桥的输出。

基于MEMS工艺，FD101 芯片尺寸小，仅1.3×1.3mm，适合大批量量产。

应用领域：

自动化领域：力传感器、力开关、力控制器的批量生产
医疗领域：临床设备与病患监护系统（例如: 透析机）
应力分析：应力、应变与振动监测
消费品领域：消费电子产品

技术指标：

参数	单位	技术指标
测量范围	με	5~500
安全过载	%fs	200
极限过载	%fs	400
输出灵敏度	mV/V	≥25
激励电压	Vdc	5 (典型值)，或2~10Vdc范围内任意电压
激励电流	mA	1 (典型值)，或0.5~2.5mA范围内任意电流
零点输出	mV/V	≤ ±8.5
非线性 (NL)	%fs	≤ ±0.5
迟滞性 (HY)	%fs	≤ ±0.15
重复性 (RP)	%fs	≤ ±0.15
长期稳定性	%fs/年	≤ ±0.2
桥路电阻	kΩ	2.4±0.2
储存温度范围	°C	-55~ +80
工作温度范围	°C	-55~ +80
桥路电阻温度系数 (TC)	%R/°C	0.11±0.02
零点温漂	%fso/°C	≤ ±0.08
灵敏度温漂	%fso/°C	≤ \|-0.2\|
零点热迟滞	%fso/°C	≤ ±0.15
电气接口		裸焊盘 (标准)，带金丝引线
外形尺寸	mm	1.3 x 1.3 x 0.1