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产品类别
产品描述：
SE103是一款用于表压（相对）或绝压测量的压阻式压力传感器芯片。该传感器芯片采用 6 英寸晶圆，通过 MEMS工艺制造而成。
SE103 的压力腔和硅膜片是一体的，这使得 SE103 具有很好的非线性误差，并且可用于表压或差压测量。
SE103 是无补偿的传感器芯片，其电桥是带有4个焊盘的闭桥电路。
产品技术指标：
参数
单位
技术指标
量程
bar
0~2.5，~6，~10，~16，~25，~60
压力类型
表压， 绝压
安全过载
%fs
200
爆破压力
%fs
300
满量程输出（fso）
mV
≥60mV @ 5Vdc
激励
电压
Vdc
5（典型值），2.5~7.5Vdc
电流
mA
1（典型值）， 0.5~1.5mA
零点漂移
mV
≤±4mV/V
非线性误差
fs%
≤±0.15
迟滞性误差
fs%
≤±0.05
重复性误差
fs%
≤±0.05
长期稳定性
fs%/年
≤±0.2
桥路电阻
Ω
5±1
储存温度范围
°C
-45~ +120
工作温度范围
°C
-45~ +120
桥阻温漂系数
R%/°C
0.15±0.05
零点漂移温漂系数
fso%/°C
≤±0.05
灵敏度温漂系数
fso%/°C
≤|-0.05|
零点漂移热迟滞
fso%/°C
≤±0.2